[发明专利]产生脉冲等离子体的方法及其等离子体设备

权利要求书

1.一种产生脉冲等离子体的方法，通过脉冲电源向反应腔室输出功率,以产生脉冲等离子体,其特征在于，所述方法包括以下步骤：

所述脉冲电源输出第一脉冲信号，所述第一脉冲信号的功率为P₁，持续时间为T₁；

所述脉冲电源输出第二脉冲信号，所述第二脉冲信号的功率为P₂，持续时间为T₂，其中，P₂≠P₁≠0。

2.根据权利要求1所述的产生脉冲等离子体的方法，其特征在于，所述脉冲电源的脉冲调整频率f＝1/(T₁+T₂),其中，f为10Hz～20KHz。

3.根据权利要求1所述的产生脉冲等离子体的方法，其特征在于，所述第一脉冲信号的占空比D＝T₁/(T₁+T₂)，其中，D为5％～95％。

4.根据权利要求1所述的产生脉冲等离子体的方法，其特征在于，所述第一脉冲信号的功率P₁与所述第二脉冲信号的功率P₂的比为0.01～100。

5.一种等离子体设备，所述等离子体设备包括脉冲电源和反应腔室，其特征在于，所述等离子体设备采用如权利要求1-4任一项所述的产生脉冲等离子体的方法,通过所述脉冲电源向所述反应腔室输出功率,以产生脉冲等离子体。

6.根据权利要求5所述的等离子体设备，其特征在于，所述等离子体设备为电感耦合等离子体设备，所述脉冲电源包括第一脉冲电源和第二射频电源，所述电感耦合等离子体设备在所述反 应腔室顶壁上方设置有电感耦合线圈，所述电感耦合线圈通过第一阻抗匹配器与所述第一脉冲电源电连接。

7.根据权利要求6所述的等离子体设备，其特征在于，所述电感耦合等离子体设备在所述反应腔室底部设置有静电卡盘，所述静电卡盘通过第二阻抗匹配器与所述第二射频电源电连接。

8.根据权利要求5所述的等离子体设备，其特征在于，所述等离子体设备为电容耦合等离子体设备，所述电容耦合等离子体设备在所述反应腔室内上方设置有上电极，所述上电极通过第一阻抗匹配器与所述脉冲电源电连接；在所述反应腔室底部设置有与所述上电极对应的下电极，所述下电极接地。

9.根据权利要求8所述的等离子体设备，其特征在于，所述上电极的顶部具有进气孔，底部分布有多个出气孔，所述上电极的内部具有匀气空间，用以向所述反应腔室内通入反应气体。