[发明专利]光学传感器及其制造方法

摘要

本发明的示范实施方式提供一种光学传感器及其制造方法，该光学传感器包括：基板；红外线感测薄膜晶体管，包括第一半导体层和带通滤波器，该第一半导体层形成在基板上并布置为通过接收红外光而工作，该带通滤波器形成在基板上并将尺寸形成且布置为使红外光通过；可见光感测薄膜晶体管，包括第二半导体层，该第二半导体层形成在基板上并布置为通过接收可见光而工作；以及开关薄膜晶体管，包括形成在基板上的第三半导体层，其中带通滤波器可以由被图案化以具有特征的金属材料形成，相邻的特征彼此间隔开预定周期从而使红外光通过并阻挡可见光。

主权项

一种光学传感器，包括：基板；红外线感测薄膜晶体管，包括第一半导体层和带通滤波器，所述第一半导体层形成在所述基板上并布置为通过接收红外光而工作，所述带通滤波器形成在所述基板上并将尺寸形成且布置为使所述红外光通过；可见光感测薄膜晶体管，包括第二半导体层，该第二半导体层形成在所述基板上并布置为通过接收可见光而工作；以及开关薄膜晶体管，包括形成在所述基板上的第三半导体层，其中所述带通滤波器包括被图案化而具有特征的金属材料，相邻的特征彼此间隔开预定周期以阻挡可见光。