[发明专利]一种碳/氧化镍/镍图案化微电极的制备工艺有效
| 申请号： | 201610209074.5 | 申请日： | 2016-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN105810454B | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 何亮;杨艳娟;麦立强 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | H01G11/86 | 分类号： | H01G11/86;H01G11/46 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司42102 | 代理人： | 张惠玲 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳/氧化镍/镍图案化微电极的制备工艺，包括以下步骤1)中空氧化镍纳米球合成；2)光刻胶‑氧化镍纳米球复合材料微电极的图案化将中空氧化镍纳米球和光刻胶进行机械搅拌和超声处理，将所得混合物涂覆于电极基板上，再进行光刻、显影、润洗；3)微电极高温热解。本发明创新性地利用光刻胶的光致抗蚀性，并以光刻胶中的感光树脂为碳源与水热法合成的中空氧化镍纳米球进行复合，制得碳/氧化镍/镍图案化微电极，实现了热解碳‑氧化镍复合材料的微电极化目的，且所得微电极表现出良好的电化学性能和机械性能，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 图案 微电极 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种碳/氧化镍/镍图案化微电极的制备工艺，包括以下步骤：1)中空氧化镍纳米球合成；2)光刻胶‑氧化镍纳米球复合材料微电极的图案化：将中空氧化镍纳米球和光刻胶进行机械搅拌和超声处理，将所得混合物涂覆于基板上，再进行光刻、显影、润洗；3)微电极高温热解：将步骤2)所得产物进行高温热解。
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