[发明专利]有机层组成物以及形成图案的方法有效
申请号: | 201610182871.9 | 申请日: | 2016-03-28 |
公开(公告)号: | CN106226997B | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 金旼秀;南沇希;白载烈;宋炫知;尹星莉;郑瑟基;洪承希;黄善民 | 申请(专利权)人: | 三星SDI株式会社 |
主分类号: | G03F7/09 | 分类号: | G03F7/09;G03F7/00 |
代理公司: | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杨贝贝;臧建明 |
地址: | 韩国京畿道龙仁*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种有机层组成物以及形成图案的方法,该有机层组合物包含热收缩率为10%到70%的第一化合物、热收缩率小于所述第一化合物的第二化合物以及溶剂;以及一种通过使所述有机层组成物固化获得的有机层以及一种使用所述有机层组成物形成图案的方法。可以提供同时确保耐蚀刻性和平面化特征的有机层。 | ||
搜索关键词: | 有机 组成 以及 形成 图案 方法 | ||
【主权项】:
1.一种有机层组成物,包括/n第一化合物,所述第一化合物的热收缩率为10%到70%,其中所述第一化合物包括由化学式1表示的部分:/n[化学式1]/n
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