[发明专利]N型双面太阳能电池的制备方法有效

专利信息
申请号: 201610161758.2 申请日: 2016-03-22
公开(公告)号: CN105609594B 公开(公告)日: 2017-08-15
发明(设计)人: 倪志春;魏青竹;吴晨阳;陆俊宇;刘晓瑞;连维飞 申请(专利权)人: 中利腾晖光伏科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 代理人: 孙仿卫
地址: 215542 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种N型双面太阳能电池的制备方法,其无需掩膜,简化了N型双面太阳能电池的生产工艺。一种N型双面太阳能电池的制备方法,依次包括如下步骤S1、在N型硅片的表面上制绒形成绒面;S2、在制绒后的硅片正面涂覆硼浆料;S3、烘干烧结,在硅片正面形成一层硼硅玻璃作为阻挡层;S4、退火共扩散;S5、酸洗,洗掉硅片正面的硼硅玻璃及硅片背面的磷硅玻璃;S6、在硅片表面镀钝化膜;S7、印刷电极、烧结;其中,步骤S4进一步包括S41、硼扩散,在硅片的正面形成硼发射极;S42、磷扩散,在硅片的背面形成磷扩散背场。
搜索关键词: 双面 太阳能电池 制备 方法
【主权项】:
一种N型双面太阳能电池的制备方法,其特征在于,依次包括如下步骤:S1、在N型硅片的表面上制绒形成绒面;S2、在制绒后的硅片正面涂覆硼浆料;S3、烘干烧结,在硅片正面形成一层硼硅玻璃作为阻挡层;S4、退火共扩散;S5、酸洗,洗掉硅片正面的硼硅玻璃及硅片背面的磷硅玻璃;S6、在硅片表面镀钝化膜;S7、印刷电极、烧结;其中,步骤S3依次包括:S31、在100~200℃下烧结30~180s,将硼浆料的有机载体挥发;S32、峰值温度为500~800℃、压缩空气吹扫辅助下对硅片处理1~5min,在硅片的正面形成一层硼硅玻璃;步骤S4进一步包括:S41、硼扩散,在硅片的正面形成硼发射极;S42、磷扩散,在硅片的背面形成磷扩散背场。
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