[发明专利]N型双面太阳能电池的制备方法有效
| 申请号: | 201610161758.2 | 申请日: | 2016-03-22 |
| 公开(公告)号: | CN105609594B | 公开(公告)日: | 2017-08-15 |
| 发明(设计)人: | 倪志春;魏青竹;吴晨阳;陆俊宇;刘晓瑞;连维飞 | 申请(专利权)人: | 中利腾晖光伏科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人: | 孙仿卫 |
| 地址: | 215542 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明提供一种N型双面太阳能电池的制备方法,其无需掩膜,简化了N型双面太阳能电池的生产工艺。一种N型双面太阳能电池的制备方法,依次包括如下步骤S1、在N型硅片的表面上制绒形成绒面;S2、在制绒后的硅片正面涂覆硼浆料;S3、烘干烧结,在硅片正面形成一层硼硅玻璃作为阻挡层;S4、退火共扩散;S5、酸洗,洗掉硅片正面的硼硅玻璃及硅片背面的磷硅玻璃;S6、在硅片表面镀钝化膜;S7、印刷电极、烧结;其中,步骤S4进一步包括S41、硼扩散,在硅片的正面形成硼发射极;S42、磷扩散,在硅片的背面形成磷扩散背场。 | ||
| 搜索关键词: | 双面 太阳能电池 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种N型双面太阳能电池的制备方法,其特征在于,依次包括如下步骤:S1、在N型硅片的表面上制绒形成绒面;S2、在制绒后的硅片正面涂覆硼浆料;S3、烘干烧结,在硅片正面形成一层硼硅玻璃作为阻挡层;S4、退火共扩散;S5、酸洗,洗掉硅片正面的硼硅玻璃及硅片背面的磷硅玻璃;S6、在硅片表面镀钝化膜;S7、印刷电极、烧结;其中,步骤S3依次包括:S31、在100~200℃下烧结30~180s,将硼浆料的有机载体挥发;S32、峰值温度为500~800℃、压缩空气吹扫辅助下对硅片处理1~5min,在硅片的正面形成一层硼硅玻璃;步骤S4进一步包括:S41、硼扩散,在硅片的正面形成硼发射极;S42、磷扩散,在硅片的背面形成磷扩散背场。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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