[发明专利]MEMS结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201610158466.3 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN107205203B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;朱佳辉 | 申请（专利权）人： | 共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 261000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 公开了MEMS结构及其制造方法。所述MEMS结构包括：衬底；可动部件，所述可动部件位于所述衬底上方；固定部件，所述固定部件位于所述可动部件上，并且与所述可动部件彼此相对，以形成电容极板；第二焊盘，位于所述固定部件上；互连部件，连接所述可动部件层面；以及第一焊盘，位于所述互连部件上，所述互连部件使得所述第一焊盘与所述第二焊盘的高度差小于10微米。该MEMS结构利用互连部件在振膜上设置约束点，从而改善振膜的振型。 | ||
| 搜索关键词： | mems 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
MEMS结构，其特征在于，包括：衬底；可动部件，所述可动部件位于所述衬底上方；固定部件，所述固定部件位于所述可动部件上，并且与所述可动部件彼此相对，以形成电容极板；第二焊盘，位于所述固定部件上；互连部件，连接所述可动部件层面；以及第一焊盘，位于所述互连部件上，所述互连部件使得所述第一焊盘与所述第二焊盘的高度差小于10微米。
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