[发明专利]用于消耗品的传感器和调节器有效

专利信息
申请号: 201610156777.6 申请日: 2016-03-18
公开(公告)号: CN106684013B 公开(公告)日: 2020-01-17
发明(设计)人: 伊恩·肯沃西 申请(专利权)人: 朗姆研究公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/3065;H01J37/32
代理公司: 31263 上海胜康律师事务所 代理人: 樊英如;张静
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及用于消耗品的传感器和调节器,提供了一种用于在处理室中使用的装置。消耗品位于处理室之内。秤被定位成测量所述消耗品的质量。
搜索关键词: 用于 消耗品 传感器 调节器
【主权项】:
1.一种在处理室中使用的装置,其包括:/n位于所述处理室内的边缘环;和/n压电换能器;其中所述压电换能器配置为充当被定位成测量所述边缘环的质量的秤和用于基于由所述秤测得的质量移动所述边缘环的致动器,其中,从所述压电换能器测得的电流或电压被用于确定质量,并且其中,所施加的电流或电压造成所述致动器的移动。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司,未经朗姆研究公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610156777.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top