[发明专利]湿法制程设备及其维护方法

摘要

本发明提供一种湿法制程设备及其维护方法，所述湿法制程设备包括：设备本体、设于设备本体内的两行N列阵列排布的共2×N个反应腔、设于两行反应腔之间的设备本体上的滑动框；每一反应腔的上表面均设有开口，对应所述开口设有覆盖所述开口的磁性盖板；所述滑动框的底边设于所述设备本体的上表面上，所述底边上设有多个相互平行的滑槽；将所述磁性盖板放置在滑槽内，并用顶边吸附住所述磁性盖板的边缘，进而所述磁性盖板能够沿所述滑槽滑动，通过将所述磁性盖板滑动至非工作区，能够避免磁性盖板占用工作区的空间，便于工作人员对设备进行维护，同时提升工作区的安全系数，避免维护人员受伤。

主权项

1.一种湿法制程设备，其特征在于，设N为大于1的正整数，所述湿法制程设备包括：设备本体(10)、设于设备本体(10)内的两行N列阵列排布的共2×N个反应腔(20)、及设于两行反应腔(20)之间的设备本体(10)上的滑动框(30)；每一反应腔(20)的上表面均设有开口，对应所述开口设有覆盖所述开口的磁性盖板(21)；所述滑动框(30)的底边(33)设于所述设备本体(10)的上表面上，所述底边(33)上设有多个相互平行的沿所述底边(33)的长度方向延伸的滑槽(34)；所述滑动框(30)的顶边(31)具有磁性；所述滑动框(30)的两侧边(32)分别安装于设备本体(10)的两侧壁上；将所述磁性盖板(21)放置在滑槽(34)内，并用顶边(31)吸附住所述磁性盖板(21)的边缘，进而所述磁性盖板(21)能够沿所述滑槽(34)滑动；所述每一滑槽(34)的宽度均等于所述磁性盖板(21)的厚度，以卡合住所述磁性盖板(21)。