[发明专利]湿法制程设备及其维护方法

说明书

本发明提供一种湿法制程设备及其维护方法，所述湿法制程设备包括：设备本体、设于设备本体内的两行N列阵列排布的共2×N个反应腔、设于两行反应腔之间的设备本体上的滑动框；每一反应腔的上表面均设有开口，对应所述开口设有覆盖所述开口的磁性盖板；所述滑动框的底边设于所述设备本体的上表面上，所述底边上设有多个相互平行的滑槽；将所述磁性盖板放置在滑槽内，并用顶边吸附住所述磁性盖板的边缘，进而所述磁性盖板能够沿所述滑槽滑动，通过将所述磁性盖板滑动至非工作区，能够避免磁性盖板占用工作区的空间，便于工作人员对设备进行维护，同时提升工作区的安全系数，避免维护人员受伤。

技术领域

本发明涉及液晶显示面板生产制造技术领域，尤其涉及一种湿法制程设备及其维护方法。

背景技术

随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)与有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。

现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)与彩色滤光片基板(ColorFilter，CF)之间灌入液晶分子，并在两片基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。

液晶显示面板的制程可划分为三个阶段：第一阶段为阵列制程(Array)，即把薄膜晶体管制作在玻璃基板上；第二阶段为组合制程(Cell)，即把彩色滤光基板与薄膜晶体管基板对组，并在中间灌入液晶分子；第三阶段为模组制程(LCM)，即在组合后的面板背后加上背光组件及外接集成电路板，完成液晶显示面板的制作。在Array制程中，需要先在玻璃基板的表面形成金属薄膜层，并在金属薄膜层上涂布光阻层，在曝光(Exposure)制程将玻璃基板套上具有特定图案的光罩后对玻璃基板进行曝光，在显影(Developer)制程利用显影液去除被光照射到的光阻(正性光阻)或未被光照射到的光阻(负性光阻)，在蚀刻(Etching)制程蚀刻未被光阻覆盖的金属薄膜，最后去除剩余的光阻层，使光罩上的薄膜晶体管的电路图案形成在玻璃基板上。

目前在液晶面板生产中，显影制程等湿法制程所使用的湿法制程设备的反应腔的盖板大多采用亚克力板(Acrylic)材料。请参考图1，其为一种现有的湿法制程设备的结构图，其盖板的设计为四边固定形式，这种湿法制程设备在清洁和维护的过程中，通常需要将盖板四边的固定拆卸下来，然后用软棉布沾肥皂水进行擦洗、清洁，维护工作繁琐，容易造成二次污染，同时这种湿法制程设备的盖板在安装时容易混淆位置，且表面和角边易划伤。

请参考图2，其为另一种现有的湿法制程设备的结构图，其盖板的设计为悬挂式，这种湿法制程设备在盖板顶部设有具有挂钩的横梁，并且在盖板的相对位置上设有挂钩，该湿法制程设备在清洁和维护的过程中，可将盖板悬挂在横梁之上，维护人员进入反应腔内进行清洁和维护。由于结构较复杂，该显影单元的成本相对较高，且盖板悬挂在维护人员所在的工作区，占用工作空间的同时容易对人员造成伤害。

发明内容

本发明的目的在于提供一种湿法制程设备，该湿法制程设备维护方便，

安全性高，使用寿命长，生产成本低。

本发明的另一目的在于提供一种湿法制程设备的维护方法，能够安全方便的对湿法制程设备的反应腔进行清洁和维护，提高生产效率。

为实现上述目的，本发明提供一种湿法制程设备，设N为大于1的正整数，所述湿法制程设备包括：设备本体、设于设备本体内的两行N列阵列排布的共2×N个反应腔、及设于两行反应腔之间的设备本体上的滑动框；