[发明专利]基板夹持对位装置和基板加工系统有效

专利信息
申请号: 201610147766.1 申请日: 2016-03-15
公开(公告)号: CN105668234B 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 潘绪文;刘开欣;叶晓龙 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: B65G49/06 分类号: B65G49/06
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 430070 湖北省武汉市武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种基板夹持对位装置,用于对玻璃基板进行夹持对位,包括至少一个第一定位部和/或至少一个第二定位部,所述第一定位部包括杆体以及与所述杆体相连的第一滚轮,所述第二定位部包括弹簧以及与所述弹簧相连的第二滚轮,所述第一滚轮和/或所述第二滚轮用于抵靠所述玻璃基板的所述侧边。根据本发明的基板夹持对位装置能够降低对玻璃基板的冲击,并且可以减少对玻璃基板的约束,避免过定位的发生。本发明还提供一种基板加工系统。
搜索关键词: 夹持 对位 装置 加工 系统
【主权项】:
1.一种基板夹持对位装置,用于对玻璃基板进行夹持对位,其特征在于,包括第一定位部和位于所述第一定位部相对两侧的两个第二定位部,所述第一定位部包括杆体以及与所述杆体相连的第一滚轮,所述第二定位部包括弹簧以及与所述弹簧相连的第二滚轮,所述第一滚轮和所述第二滚轮用于抵靠所述玻璃基板的侧边,两个所述第二定位部能够在沿所述杆体延伸的方向上相对所述第一定位部一起伸出。
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