[发明专利]基板夹持对位装置和基板加工系统

权利要求书

1.一种基板夹持对位装置，用于对玻璃基板进行夹持对位，其特征在于，包括第一定位部和位于所述第一定位部相对两侧的两个第二定位部，所述第一定位部包括杆体以及与所述杆体相连的第一滚轮，所述第二定位部包括弹簧以及与所述弹簧相连的第二滚轮，所述第一滚轮和所述第二滚轮用于抵靠所述玻璃基板的侧边，两个所述第二定位部能够在沿所述杆体延伸的方向上相对所述第一定位部一起伸出。

2.如权利要求1所述的基板夹持对位装置，其特征在于，所述第一定位部的所述杆体为刚性杆体。

3.如权利要求2所述的基板夹持对位装置，其特征在于，所述第一定位部的数量亦为四个，四个所述第一定位部两两相对设置。

4.如权利要求3所述的基板夹持对位装置，其特征在于，所述第二定位部的数量为八个，一个所述第一定位部和两个所述第二定位部构成一个定位组件，四个所述定位组件两两相对设置。

5.如权利要求4所述的基板夹持对位装置，其特征在于，在每一个所述定位组件中，两个所述第二定位部位于所述第一定位部的两侧。

6.一种基板加工系统，其特征在于，包括如权利要求1至5任一项所述的基板夹持对位装置。