[发明专利]基板夹持对位装置和基板加工系统

说明书

本发明提供一种基板夹持对位装置，用于对玻璃基板进行夹持对位，包括至少一个第一定位部和/或至少一个第二定位部，所述第一定位部包括杆体以及与所述杆体相连的第一滚轮，所述第二定位部包括弹簧以及与所述弹簧相连的第二滚轮，所述第一滚轮和/或所述第二滚轮用于抵靠所述玻璃基板的所述侧边。根据本发明的基板夹持对位装置能够降低对玻璃基板的冲击，并且可以减少对玻璃基板的约束，避免过定位的发生。本发明还提供一种基板加工系统。

技术领域

本发明涉及夹持对位装置，尤其涉及一种基板夹持对位装置和基板加工系统。

背景技术

如图1所示，常用的机械夹持对位装置1通常采用在玻璃基板101的四角设置夹持滚轮102来矫正玻璃基板101的位置，从而使得玻璃基板完成定位动作。

当前，玻璃基板行业的发展趋势为小厚度及大尺寸的基板。对于此类玻璃基板，其质量较大，即需吸收的冲击能量较大，而较小的厚度会使其抗冲击强度较低，由夹持导致边裂的可能性变大，从而提高了由边裂导致产品报废的风险。

如图1所示，在玻璃基板101所在的平面内，共有横向平移、竖向平移和绕垂直玻璃基板101平面方向的转动的3个自由度，而玻璃基板101长边上两侧各有2个滚轮102，组成4对约束；短边上同理，4对约束。因此玻璃基板101在定位过程中，若玻璃基板101存在转动偏移或移动偏移，多个滚轮102形成的定位为过定位，容易使得夹持位置不正确，从而造成玻璃基板101卡住，产生边裂。

发明内容

本发明提供一种基板夹持对位装置，能够降低对玻璃基板的冲击，并且可以减少对玻璃基板的约束，避免过定位的发生。

本发明提供一种基板夹持对位装置，用于对玻璃基板进行夹持对位，包括至少一个第一定位部和/或至少一个第二定位部，所述第一定位部包括杆体以及与所述杆体相连的第一滚轮，所述第二定位部包括弹簧以及与所述弹簧相连的第二滚轮，所述第一滚轮和/或所述第二滚轮用于抵靠所述玻璃基板的所述侧边。

其中，所述第一定位部的所述杆体为刚性杆体。

其中，所述第一定位部的数量亦为四个，四个所述第一定位部两两相对设置。

其中，所述第二定位部的数量为八个，一个所述第一定位部和两个所述第二定位部构成一个定位组件，四个所述定位组件两两相对设置。

其中，在每一个所述定位组件中，两个所述第二定位部位于所述第一定位部的两侧。

其中，在每一个所述定位组件中，两个所述第二定位部位于所述第一定位部的同一侧。

本发明还提供一种基板加工系统，包括如前述任一项所述的基板夹持对位装置。

相较于现有技术，本发明通过增加滚轮，可以增大夹持对位装置与玻璃基板的接触面积，从而降低对玻璃基板的冲击力，并且增设带弹簧的滚轮，可以减少滚轮对玻璃基板的约束，还可以对玻璃基板回复中心位置起正反馈作用。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有的基板夹持对位装置的示意图；

图2是根据本发明的基板夹持对位装置的示意图；

图3是根据本发明的基板夹持对位装置在去除第二定位部后的示意图；

图4是根据本发明的基板夹持对位装置在基板发生竖向偏移时的示意图；

图5是根据本发明的基板夹持对位装置在基板发生旋转偏移时的示意图。