[发明专利]修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器

摘要

提供一种修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。具有：确定部，确定外加负载增加时的极限负载F_X；修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载F_X、生成使极限负载F_X变化了时的迟滞的最大值的第一函数f_PEAK(F_X)、以及生成外加了静电电容式压力传感器的额定负载F_MAX时的迟滞的第二函数f_HYS(F_N/F_X×F_MAX)来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值；修正部，使用该修正值，修正外加负载减少时实际读取的静电电容。

主权项

1.一种修正装置，是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的修正装置，该静电电容式压力传感器是根据外加负载F_N的极限负载Fx以及上述外加负载F_N的最大极限负载F_MAX、上述外加负载F_N增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，上述极限负载Fx是负载施加到上述静电电容式压力传感器时的上述外加负载F_N的最大值，上述最大极限负载F_MAX是上述静电电容式压力传感器的额定负载，上述修正装置具有：确定部，配置为在上述外加负载F_N增加时确定上述极限负载Fx；修正值生成部，配置为基于由上述确定部确定出的上述极限负载Fx来生成上述外加负载F_N减少时实际读取的静电电容的修正值；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载F_N减少时实际读取的静电电容，上述修正装置的特征在于，上述修正值生成部配置为对于上述外加负载F_N增加时实际读取的静电电容不生成修正值，上述修正值生成部配置为生成修正值，该修正值是第一函数与第二函数的乘积，上述第一函数是在上述极限负载Fx发生了变化时生成上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的上述额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载Fx而决定的上述外加负载F_N的迟滞的函数，将上述第一函数设为f_PEAK(F_X)，将上述第二函数设为f_HYS(F_N/F_X×F_MAX)的情况下，上述修正部配置为从上述外加负载F_N减少时的静电电容减去由上述修正值生成部生成的修正值f_PEAK(F_X)×f_HYS(F_N/F_X×F_MAX)，由此修正上述外加负载F_N减少时的静电电容，上述第二函数f_HYS(F_N/F_X×F_MAX)是([An×(F_MAX/F_X×F_N)^n+A(n‑1)×(F_MAX/F_X×F_N)^(n‑1)···+A1×(F_MAX/F_X×F_N)+A0])，其中，A0～An为常数。