[发明专利]镍元素掺杂二氧化硅复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201610130530.7 申请日: 2016-03-08
公开(公告)号: CN105647478A 公开(公告)日: 2016-06-08
发明(设计)人: 雷红;马盼;陈怡;刘婷婷;王鑫 申请(专利权)人: 上海大学
主分类号: C09K3/14 分类号: C09K3/14;C09G1/02
代理公司: 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 代理人: 陆聪明
地址: 200444*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种镍元素掺杂二氧化硅复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法,所述的抛光液组合物的制备方法,其步骤:a.将上述的镍掺杂二氧化硅复合颗粒溶胶体系送入350目过滤筛,过滤,除去其中的大颗粒,筛得粒径为100-120纳米的颗粒;b.将氢氧化钠加入复合磨粒溶液中,控制溶液pH值为9.5-10.5;c.加入质量百分比含量为0.2-3%的分散剂三聚磷酸钠、质量百分比含量为0.01-1%的表面活性剂十二烷基苯磺酸钠,均匀混合即得抛光液组合物。采用本发明提供的抛光液组合物对蓝宝石基片进行抛光,可以提高蓝宝石表面去除速率,降低蓝宝石表面的粗糙度。
搜索关键词: 元素 掺杂 二氧化硅 复合 抛光 组合 及其 制备 方法
【主权项】:
一种镍元素掺杂二氧化硅复合磨粒,其特征在于,所述的复合磨粒组成及质量百分比含量为:镍元素化合物(氢氧化镍)0.1‑5 wt.% ;二氧化硅溶胶99.9‑95 wt.% ;以上各组成的质量百分比含量之和为100 wt % 。
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