[发明专利]锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法在审
| 申请号： | 201610129751.2 | 申请日： | 2016-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN105694811A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 雷红;顾倩;黄丽琴;王瑶;刘婷婷 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 陆聪明 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法，所述的抛光液组合物的制备方法，其步骤：a.将上述锌元素掺杂氧化硅溶胶复合颗粒溶胶体系送入350目过滤筛，过滤，除去其中的大颗粒；b．向上述过滤后的复合颗粒溶胶体系加入质量百分比为6.67%的分散剂六偏磷酸钠，搅拌均匀,即得到锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒的抛光液组合物。本发明的复合磨粒的物理结构为纳米球形，该磨粒的化学组成上含有锌元素，锌元素可以提高磨粒的化学作用,化学作用可提高磨粒的抛光速率，提高材料的去除速率。采用本发明提供的抛光液对蓝宝石基片进行抛光，可以有效地降低蓝宝石硅片表面的粗糙度，提高蓝宝石表面的去除速率。 | ||
| 搜索关键词： | 锌元素 掺杂 氧化 硅溶胶 复合 抛光 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒， 其特征在于，所述的复合磨粒组成及质量百分比含量为：锌元素化合物（氢氧化锌）0.1‑2 wt.%；氧化硅溶胶99.9‑95 wt.%。
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