[发明专利]锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒，其特征在于，所述的复合磨粒组成及质量百 分比含量为：

锌元素化合物（氢氧化锌）0.1-2wt.%；

氧化硅溶胶99.9-95wt.%。

2.一种锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒的制备方法，其特征在于该方法具有如下步 骤：

a.将质量分数为8.0%的水玻璃通过阳离子交换树脂，得到质量分数为2.0-3.0%活性 硅酸溶液，所述的硅酸溶液的pH值为2.5-3.5；

b.将质量分数为0.29%的硝酸锌水溶液与质量分数为2.0-3.0%活性硅酸溶液搅拌 混合，形成混合溶液；将混合后的混合溶液与质量分数为0.5%的氢氧化钠溶液同时滴加到 温度为100℃的、质量分数为10%的晶种氧化硅溶液中，形成溶胶体系，得到抛光液；控制 滴加速度为1-2ml/min，该滴加速度与溶胶体系的蒸发速度相同，保持溶胶体系的液面不 变；保持溶胶体系的pH值为8.5-10.5，直到混合溶液滴加完，搅拌冷却到室温，即得到锌元 素掺杂氧化硅溶胶的复合磨粒溶胶体系,将上述锌元素掺杂氧化硅的复合磨粒溶胶体系 送入350目过虑筛，过滤，除去其中的大颗粒；向上述过滤后的复合磨粒溶胶体系加入质量 百分比为6.67%的分散剂六偏磷酸钠，搅拌均匀，即得锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒的 抛光液组合物。

3.一种锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒的抛光液组合物，其特征在于，所述的抛光液 组合物的组成及质量百分比含量为：

锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒10-10.12wt.%，

分散剂六偏磷酸钠6.67wt.%，

去离子水余量；

以上各组成的质量百分比含量之和为100wt.%。

4.一种制备根据权利要求3所述的锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒的抛光液组合物的 制备方法，其特征在于具有以下的过程和步骤：

a.将上述锌元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒溶胶体系送入350目过滤筛，过滤，除去其 中的大颗粒；

b．向上述过滤后的复合磨粒溶胶体系加入质量百分比为6.67%的分散剂六偏磷酸钠， 搅拌均匀,即得到抛光液组合物。