[发明专利]具有窗口的化学机械抛光垫

摘要

本发明提供一种化学机械抛光垫，其具有抛光层；端点检测窗；子衬垫；以及堆叠粘着剂；其中子衬垫包括与端点检测窗光通信的多个孔口；并且其中抛光层的抛光表面适用于衬底的抛光。

主权项

1.一种化学机械抛光垫，其包含：抛光层，其具有中心轴、外周边、抛光表面、底部表面和从所述抛光表面到所述底部表面测量的垂直于所述抛光表面的平面的抛光层厚度TP；端点检测窗，其具有抛光侧面、平台侧面和从所述抛光侧面到所述平台侧面测量的垂直于所述抛光侧面的窗口厚度TW；子衬垫，其具有顶部表面、底部表面、多个孔口、外边缘和从所述顶部表面到所述底部表面测量的垂直于所述顶部表面的子衬垫厚度TS；以及，堆叠粘着剂；其中所述端点检测窗并入所述化学机械抛光垫，其中所述抛光侧面朝向所述抛光层的抛光表面安置；其中所述堆叠粘着剂插置在所述抛光层的底部表面与所述子衬垫的顶部表面之间；其中所述多个孔口与所述端点检测窗光通信；以及，其中所述抛光层的抛光表面适用于衬底的抛光；其中所述子衬垫更包含多个横向部件；其中所述多个孔口由所述多个横向部件分隔开；并且其中所述多个孔口包含至少三个孔口；其中所述多个孔口由三个相邻孔口组成；其中所述三个相邻孔口由内孔口、中心孔口和外孔口组成；其中所述内孔口具有平行于所述抛光表面的平面的内孔口横截面积Ai；其中所述中心孔口具有平行于所述抛光表面的平面的中心孔口横截面积Ac；其中所述外孔口具有平行于所述抛光表面的平面的外孔口横截面积Ao；其中所述多个横向部件由内部件和外部件组成；其中所述内部件分隔所述内孔口与所述中心孔口；以及，其中所述外部件分隔所述中心孔口与所述外孔口；其中所述内孔口横截面积Ai跨越所述子衬垫厚度Ts为实质上恒定；其中所述中心孔口横截面积Ac跨越所述子衬垫厚度Ts为实质上恒定；其中所述外孔口横截面积Ao跨越所述子衬垫厚度Ts为实质上恒定。