[发明专利]负型感光性树脂组合物

摘要

本发明涉及负型感光性树脂组合物，更具体地，涉及负型感光性树脂组合物，其通过包含具有环氧基或氧杂环丁烷基的碱可溶性树脂；具有环氧基的酚醛清漆低聚物系固化剂；和三官能以上的多官能硫醇化合物，能够制造具有显著改善的耐化学性、即使蚀刻剂处理以后仍具有优异的密合力、不产生表面损伤、膜收缩的图案。

主权项

1.负型感光性树脂组合物，其包含：具有环氧基或氧杂环丁烷基的碱可溶性树脂；具有环氧基的酚醛清漆低聚物系固化剂；和三官能以上的多官能硫醇化合物，其中，所述碱可溶性树脂包含含有由下述化学式1表示的重复单元的第1树脂和含有由下述化学式2表示的重复单元的第2树脂：[化学式1]式中，R₁、R₂、R₃及R₄相互独立地为氢或甲基，R₅为来自单体的结构，该单体选自由(甲基)丙烯酸、琥珀酸2‑(甲基)丙烯酰氧基乙酯、六氢邻苯二甲酸2‑(甲基)丙烯酰氧基乙酯、邻苯二甲酸2‑(甲基)丙烯酰氧基乙酯及琥珀酸2‑(甲基)丙烯酰氧基乙酯构成的组，R₆为来自单体的结构，该单体选自由(甲基)丙烯酸苄酯、苯氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、(2‑苯基)苯氧基乙氧基(甲基)丙烯酸酯、2‑羟基‑(2‑苯基)苯酚丙基(甲基)丙烯酸酯、2‑羟基‑(3‑苯基)苯氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯、(甲基)苯乙烯、乙烯基甲苯、乙烯基萘、N‑苄基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、甲氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基四甘醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯及(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯构成的组，R₇为来自单体的结构，该单体选自由下述式(1)～(9)构成的组，R₈为来自单体的结构，该单体选自由下述式(10)～(16)构成的组，a＝10～30mol％、b＝10～20mol％、c＝30～60mol％、d＝10～30mol％，[化学式2]式中，R₉、R₁₀及R₁₁相互独立地为氢或甲基，R₁₂为来自单体的结构，该单体选自由(甲基)丙烯酸、琥珀酸2‑(甲基)丙烯酰氧基乙酯、六氢邻苯二甲酸2‑(甲基)丙烯酰氧基乙酯、邻苯二甲酸2‑(甲基)丙烯酰氧基乙酯及琥珀酸2‑(甲基)丙烯酰氧基乙酯构成的组，R₁₃为来自单体的结构，该单体选自由下述式(17)～(19)构成的组，R₁₄为来自由下述式(20)表示的单体的结构，R₁₅为碳数1～6的亚烷基，R₁₆为碳数1～6的烷基，e＝10～30mol％、f＝30～60mol％、g＝20～50mol％。