[发明专利]碳化硅反射镜的加工方法及装置在审

专利信息
申请号: 201610113796.0 申请日: 2016-02-29
公开(公告)号: CN105619186A 公开(公告)日: 2016-06-01
发明(设计)人: 汪炜;耿其东;缪兴华;李成冬;王昆 申请(专利权)人: 南京航空航天大学
主分类号: B24B1/04 分类号: B24B1/04;B23H5/04
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 黄欣
地址: 210016*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种碳化硅反射镜的加工方法及装置,其中加工方法组合了电火花线切割、电火花成形及超声磨削,并进行了改进。加工装置包括底座、丝筒、支架、导向轮、电源系统、超声工具头、变幅杆、换能器、超声伺服系统、电火花成形进给系统、执行机构、工具电极、平动头、加工工件、位置检测器、数控平动台和工作液循环系统。该方法加工效率高、成本低、表面质量好。
搜索关键词: 碳化硅 反射 加工 方法 装置
【主权项】:
碳化硅反射镜的加工方法,其特征在于,包括以下过程:首先利用电火花线切割加工工件的内外圆,然后利用电火花成形加工方法实现平面加工,最后通过超声磨削加工实现曲面加工;其中所述电火花成形加工方法中以石墨为工具电极,工具电极运动方式为平动或进给运动,工具电极的表面有纵横交错的槽,电极局部成小块状,所述小块状的电极周围布有均匀的冲液孔,加工过程中,工作液通过冲液孔进入槽中均匀冲洗每一个小电极块。
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