[发明专利]微机电力量传感器以及力量感测装置

摘要

本发明提供一种微机电力量传感器，其包括第一基板、第二基板以及多个导电端子。第二基板与第一基板对向配置且包括可形变部以及受力部。可形变部具有多个感测组件。受力部凸出于可形变部背对第一基板的表面，而在可形变部上围设出凹槽。导电端子与感测组件电性连接，且导电端子集中配置在凹槽的下方。第二基板通过导电端子而固定在第一基板上。另提供一种力量感测装置。本发明提供的微机电力量传感器可感测施加在微机电力量传感器上的力量变化，同时本发明提供的力量感测装置可感测施加在力量感测装置上的力量变化。

主权项

一种微机电力量传感器，其特征在于，包括：第一基板；第二基板，与所述第一基板对向配置且包括：可形变部，具有多个感测组件；以及受力部，凸出于所述可形变部背对所述第一基板的表面，而在所述可形变部上围设出凹槽；以及多个导电端子，与所述多个感测组件电性连接，且所述多个导电端子集中配置在所述凹槽的下方，所述第二基板通过所述多个导电端子而固定在所述第一基板上。