[发明专利]氧化物薄膜的制备方法及其薄膜晶体管

摘要

一种氧化物薄膜的制备方法及薄膜晶体管。氧化物薄膜的制备方法是先将氧化物纳米粉末用分散剂分散在溶剂中形成悬浮液，然后将悬浮液在衬底上成膜，再将所成的膜经退火处理去除分散剂后得到所需要的氧化物薄膜；氧化物纳米粉末含有铟、锌、镓、锡、锆、铝、铪、钪、钽和硅中的至少一种，溶剂为水或醇。分散剂为木质素、酚醛树脂或纤维素中的一种。薄膜晶体管采用上述氧化物薄膜构成其一个或者多个功能层。本发明制备温度低、成本低、适用于大面积制备、环保、可控性强、所制备的薄膜性能良好。具有该薄膜的薄膜晶体管迁移率高，开关比高，制备工艺简单，成本低廉，可实现低温、大规模制备，能应用于柔性显示。

主权项

一种氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：先将氧化物纳米粉末用分散剂分散在溶剂中形成悬浮液，然后将悬浮液在衬底上成膜，再将所成的膜经退火处理去除分散剂后得到所需要的氧化物薄膜；所述氧化物纳米粉末含有铟、锌、镓、锡、锆、铝、铪、钪、钽和硅中的至少一种，所述溶剂为水或醇。