[发明专利]一种氧化钨薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610095559.6 | 申请日： | 2016-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN105568341B | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 徐玄;顾进跃;顾伟华;李巧梅 | 申请（专利权）人： | 深圳市威勒科技股份限公司 |
| 主分类号： | C25D9/04 | 分类号： | C25D9/04;C25D21/12 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 唐致明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化钨薄膜的制备方法，具体是将阴、阳极浸入电解液中，在电压作用下，电解液形成等离子体并沉积在电极表面，得到氧化钨薄膜。本发明通过温度控制或回流冷却装置控制电解槽内温度，能在常温常压下操作，具有工艺过程简单、生产成本低、易操作、易实现工业化生产等优点，既克服了物理方法要求真空条件、生产成本高的劣势，也克服了化学方法膜基结合力差、薄膜致密性差的缺点，其制备的薄膜与基体的结合力好，能大面积成膜，因而对处理工件的限制性少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化钨 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化钨薄膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法为：将阴、阳极浸入电解液中，在电压作用下，电解液形成等离子体并沉积在电极表面，得到氧化钨薄膜，所述电解液含有无机添加剂和/或有机添加剂，所述无机添加剂是无机酸和/或无机盐；所述有机添加剂是柠檬酸、桂皮酸、十二烷基苯磺酸钠、苯甲酸钠和糖精中的至少一种，所述电压为500~1200V；所述阴、阳极间的电流为恒流电流，电流密度为500~1200mA/mm2，所述阴、阳极的面积比为1：1~2；所述阴、阳极的间距为6~15mm。
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