[发明专利]MEMS麦克风及其制造方法有效
| 申请号： | 201610080614.4 | 申请日： | 2016-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN107040857B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;谭文平 | 申请（专利权）人： | 山东共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 261000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 公开了MEMS麦克风及其制造方法。所述MEMS麦克风包括：衬底；振膜层，所述振膜层位于所述衬底上；背极板，所述背极板位于所述振膜层上，并且与所述振膜层彼此相对，以形成电容极板；互连部件，包括与所述背极板相同层面的第一部分和从所述第一部分延伸至所述振膜层的第二部分；以及第一焊盘和第二焊盘，分别位于所述互连部件和所述背极板上。该MEMS麦克风利用互连部件在振膜上设置约束点，从而改善振膜的振动特性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS结构，其特征在于，包括：衬底；可动部件，所述可动部件位于所述衬底上；固定部件，所述固定部件位于所述可动部件上，并且与所述可动部件彼此相对，以形成电容极板；互连部件，包括与所述固定部件相同层面的第一部分和从所述第一部分延伸至所述可动部件的第二部分；以及第一焊盘和第二焊盘，分别位于所述互连部件和所述固定部件上。
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