[发明专利]一种光刻版及应用光刻版制作发光二极管的方法

摘要

本发明公开了一种光刻版及应用光刻版制作发光二极管的方法，属于半导体技术领域。所述光刻版应用于制作发光二极管，发光二极管包括衬底、层叠在衬底上的外延片、以及设置在外延片上的电极，电极包括焊盘和沿垂直于发光二极管的生长方向延伸的电极线，光刻版为圆形板，圆形板上设有多个形状与焊盘和电极线一致的通孔，圆形板分为至少两个区域，至少两个区域包括一个圆形区域和至少一个圆环区域，至少两个区域的圆心均与圆形板的圆心重叠，同一区域内的通孔的线宽相同，不同区域内的通孔的线宽自圆形板的圆心向外逐个增大，通孔的线宽为通孔中与电极线的形状一致的区域的宽度。本发明提高了对档率。

主权项

1.一种光刻版，所述光刻版应用于制作发光二极管，所述发光二极管包括衬底、层叠在所述衬底上的外延片、以及设置在所述外延片上的电极，所述电极包括焊盘和沿垂直于所述发光二极管的生长方向延伸的电极线，所述光刻版为圆形板，所述圆形板上设有多个形状与所述焊盘和所述电极线一致的通孔，其特征在于，所述圆形板分为至少两个区域，所述至少两个区域包括一个圆形区域和至少一个圆环区域，所述至少两个区域的圆心均与所述圆形板的圆心重叠，同一区域内的所述通孔的线宽相同，不同区域内的所述通孔的线宽自所述圆形板的圆心向外逐个增大，所述通孔的线宽为所述通孔中与所述电极线的形状一致的区域的宽度。