[发明专利]一种柔性薄膜脆断方法有效
| 申请号： | 201610052811.5 | 申请日： | 2016-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN105699167B | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 高尚;缪亚美;林坤;王颖 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01N1/42 | 分类号： | G01N1/42 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 孙伟 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及扫描电子显微镜样品制备的领域，特别涉及一种柔性薄膜脆断方法，包括以下步骤：把硅片加工成小的细长条状，得到预刻槽硅片；将所述预刻槽硅片与柔性薄膜粘合；两端使用夹子固定，然后投入冷却液中使其充分冷却；将冷冻硅片迅速取出后，同时向所述冷冻硅片带有槽的面弯曲，直至冷冻硅片发生脆断，得到脆断的柔性薄膜。在低温降低柔性薄膜韧性的同时，本方法借助粘贴预刻槽硅片来限制薄膜移动、集中瞬态应力和产生高的应变率，从而较易获得完整的脆性断面，克服了制得的断面塑性变形明显以及不平整等各种问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性薄膜脆断方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：A.对硅片进行加工，使其一面带有凹槽，得到预刻槽硅片；B.将所述预刻槽硅片与柔性薄膜粘合，得复合硅片，其中所述柔性薄膜与所述预刻槽硅片中没有凹槽的面相连，所述预刻槽硅片与所述柔性薄膜通过导电双面胶相连，所述复合硅片为三明治结构，其中最下一层为预刻槽硅片，中间一层为导电双面胶，最上面一层为柔性薄膜；C.使用冷却液充分冷却所述复合硅片，得冷冻硅片；D.将冷冻硅片与所述冷却液分离；E.固定所述冷冻硅片两侧，同时向所述冷冻硅片带有槽的面施加力；F.使得冷冻硅片发生脆断，得到脆断的柔性薄膜。
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