[发明专利]一种柔性薄膜脆断方法有效
| 申请号： | 201610052811.5 | 申请日： | 2016-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN105699167B | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 高尚;缪亚美;林坤;王颖 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01N1/42 | 分类号： | G01N1/42 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 孙伟 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜 方法 | ||
1.一种柔性薄膜脆断方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：
A.对硅片进行加工，使其一面带有凹槽，得到预刻槽硅片；
B.将所述预刻槽硅片与柔性薄膜粘合，得复合硅片，其中所述柔性薄膜与所述预刻槽硅片中没有凹槽的面相连，所述预刻槽硅片与所述柔性薄膜通过导电双面胶相连，所述复合硅片为三明治结构，其中最下一层为预刻槽硅片，中间一层为导电双面
胶，最上面一层为柔性薄膜；
C.使用冷却液充分冷却所述复合硅片，得冷冻硅片；
D.将冷冻硅片与所述冷却液分离；
E.固定所述冷冻硅片两侧，同时向所述冷冻硅片带有槽的面施加力；
F.使得冷冻硅片发生脆断，得到脆断的柔性薄膜。
2.根据权利要求1所述的柔性薄膜脆断方法，其特征在于：步骤A中使用刻刀和钢尺对硅片进行加工。
3.根据权利要求1所述的柔性薄膜脆断方法，其特征在于：所述柔性薄膜脆断方法中用到的硅片为长条状，所述硅片的长度与宽度之比大于2：1。
4.根据权利要求3所述的柔性薄膜脆断方法，其特征在于：所述柔性薄膜脆断方法中用到的所述柔性薄膜和所述导电双面胶的尺寸不大于所述硅片尺寸的两倍。
5.根据权利要求1所述的柔性薄膜脆断方法，其特征在于：步骤C中，复合硅片浸入液氮的时间大于60秒。
6.根据权利要求1所述的柔性薄膜脆断方法，其特征在于：步骤C中使用夹子固定所述复合硅片。
7.根据权利要求6所述的柔性薄膜脆断方法，其特征在于：步骤D中使用镊子夹住所述夹子把手将冷冻硅片与冷却液分离，或在夹子把手端系绳，直接拽出。
8.根据权利要求7所述的柔性薄膜脆断方法，其特征在于：步骤E中使用带保温手套的双手分别固定所述冷冻硅片的两端的夹子把手并弯曲。
9.根据权利要求1所述的柔性薄膜脆断方法，其特征在于：步骤C中使用的冷却液为液氮。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学深圳研究生院，未经哈尔滨工业大学深圳研究生院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610052811.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：万向节球道中心高量具
- 下一篇：一种用于钢铁化学成分检测中的溶酸剂及应用
