[发明专利]丝网印刷型自参比-石墨烯场效应晶体管生化传感器有效
| 申请号： | 201610051087.4 | 申请日： | 2016-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN105552123B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 贾芸芳;邵晨;郭智勇;盛博文;琚成 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | H01L29/772 | 分类号： | H01L29/772;H01L29/78;H01L29/16 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莉华 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明创造提供了一种丝网印刷型自参比‑石墨烯场效应晶体管生化传感器，该石墨烯场效应晶体管传感器采用丝网印刷技术制备，既具有石墨烯场效应晶体管的器件优势，又可满足液体环境中生物化学传感器三电极检测的需求，工艺简单、成本低廉；此外，自参比的结构设计，不同于现有液栅石墨烯场效应晶体管，采用了将参比电极、石墨烯场效应晶体管集成为一体的设计方案，具有全固态、易操作的优势；最后，由于采用了对石墨烯材料和衬底分别进行羧基化和氨基化处理，有利于提高器件的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 丝网 印刷 石墨 场效应 晶体管 生化 传感器 | ||
【主权项】：
1.丝网印刷型自参比‑石墨烯场效应晶体管生化传感器，包括源极、漏极、绝缘保护层、Ag/AgCl箔片、底部PET绝缘膜片、羧基化石墨烯薄膜、导电银浆印制导线、顶部PET绝缘膜片、压焊点、接触窗口，其特征为，羧基化石墨烯薄膜、源极、漏极位于底部PET绝缘膜片上表面，且源极和漏极分立于羧基化石墨烯薄膜两侧；绝缘保护层分别与源极和漏极的上表面相连，且在羧基化石墨烯薄膜的上表面中间区域设置有接触窗口；羧基化石墨烯薄膜的上部悬置有Ag/AgCl箔片，Ag/AgCl箔片的上表面固定于顶部PET绝缘膜片上印刷有导电银浆印制导线的下表面，导电银浆印制导线的下表面的远离Ag/AgCl箔片一侧与绝缘保护层相连。
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