[发明专利]一种工件台三自由度位移测量方法

摘要

本发明提供一种应用于工件台多刚体结构的三自由度位移测量方法，该方法通过建立各连接结构之间的坐标位置转换关系，将坐标值层层迭代，最终得到微动台坐标系中任意一点在支撑框架坐标系中的坐标值。本方法解决了，光刻机工件台在换台结束后，激光干涉仪处于无法跟踪微动台的盲点问题，接替激光干涉仪知道微动台运动，进行归零设置。

主权项

一种工件台三自由度位移测量方法，其特征在于该方法首先建立支撑框架坐标系、平衡质量块坐标系、长行程坐标系、微动台坐标系，然后进行以下步骤，步骤一，测量平衡质量块坐标系在支撑框架坐标系中的三自由度位移量，进而计算出平衡质量块坐标系上任意一点在支撑框架坐标系中的坐标，并得到平衡质量块坐标系到支撑框架坐标系的转换矩阵；步骤二，测量工件台X向长行程电机动子(6b)和Y向长行程电机动子(5b)的位移量，计算出工件台长行程坐标系在平衡质量块坐标系中的三自由度位移量，进而计算出长行程坐标系中任意一点在平衡质量块坐标中的坐标，并得到长行程坐标系到平衡质量块坐标系的转换矩阵；步骤三，测量微动台坐标系在长行程坐标系中的三自由度位移量，进而计算微动台坐标系中任意一点在长行程坐标系中的坐标，并得到微动台坐标系到长行程坐标系的转换矩阵；将微动台坐标系中任意一点带入到微动台坐标系到长行程坐标系的转换矩阵中，得到微动台坐标系中任意一点在长行程坐标系中的坐标，再将该坐标值代入到长行程坐标系到平衡质量块坐标系的转换矩阵中，得到微动台坐标系中任意一点在平衡质量块坐标系中的坐标，再将该坐标值带入到平衡质量块坐标系到支撑框架坐标系的转换矩阵中，最终得到微动台坐标系中任意一点在支撑框架坐标系中的坐标。