[发明专利]一种工件台三自由度位移测量方法有效
| 申请号： | 201610023032.2 | 申请日： | 2016-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN105549332B | 公开（公告）日： | 2017-11-03 |
| 发明（设计）人： | 刘永猛;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 工件 自由度 位移 测量方法 | ||
1.一种工件台三自由度位移测量方法，其特征在于该方法首先建立支撑框架坐标系、平衡质量块坐标系、长行程坐标系、微动台坐标系，然后进行以下步骤，步骤一，测量平衡质量块坐标系在支撑框架坐标系中的三自由度位移量，进而计算出平衡质量块坐标系上任意一点在支撑框架坐标系中的坐标，并得到平衡质量块坐标系到支撑框架坐标系的转换矩阵；步骤二，测量工件台X向长行程电机动子(6b)和Y向长行程电机动子(5b)的位移量，计算出工件台长行程坐标系在平衡质量块坐标系中的三自由度位移量，进而计算出长行程坐标系中任意一点在平衡质量块坐标中的坐标，并得到长行程坐标系到平衡质量块坐标系的转换矩阵；步骤三，测量微动台坐标系在长行程坐标系中的三自由度位移量，进而计算微动台坐标系中任意一点在长行程坐标系中的坐标，并得到微动台坐标系到长行程坐标系的转换矩阵；将微动台坐标系中任意一点带入到微动台坐标系到长行程坐标系的转换矩阵中，得到微动台坐标系中任意一点在长行程坐标系中的坐标，再将该坐标值代入到长行程坐标系到平衡质量块坐标系的转换矩阵中，得到微动台坐标系中任意一点在平衡质量块坐标系中的坐标，再将该坐标值带入到平衡质量块坐标系到支撑框架坐标系的转换矩阵中，最终得到微动台坐标系中任意一点在支撑框架坐标系中的坐标。
2.根据权利要求1所述的工件台三自由度位移测量方法，其特征在于该方法中平衡质量块坐标系在支撑框架坐标系中三自由度位移采用第一直线光栅尺(101)、第二直线光栅尺(102)、第三直线光栅尺(103)测量，所述第一直线光栅尺(101)、第二直线光栅尺(102)、第三直线光栅尺(103)安装在支撑框架上，光栅读数头固定在平衡质量块上，第一直线光栅尺(101)与第二直线光栅尺(102)正交安装，第一直线光栅尺(101)、第二直线光栅尺(102)、第三直线光栅尺(103)距平衡质量块(2)质心的距离分别为L1、L2、L3。
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