[发明专利]一种P5000机台BPSG工艺的改进设备

摘要

本发明公开了一种P5000机台BPSG工艺的改进设备，包括P5000机台本体和两个独立的柜体，P5000机台本体的上方安装有TEOS管路，柜体的内部安装有小套柜，小套柜呈上下两层结构，小套柜的下层放置存放有液态源的钢瓶，上层安装有液态源输出管路系统，液态源输出管路系统与钢瓶连通，还包括一液态源引出管路，液态源引出管路安装在柜体的上方，液态源引出管路的一端与液态源输出管路系统连接，另一端与TEOS管路对接，小套柜的下层安装有加热器，钢瓶放置在加热器中，液态源引出管路上包裹有加热带，柜体中安装有控制器，控制器与P5000机台本体通信连接，控制器控制加热器和加热带的运作。该设备改进能够实现BPSG工艺的同时节约成本，并能够简易，可靠，高效的更换液态源。

主权项

1.一种P5000机台BPSG工艺的改进设备，其特征在于：包括P5000机台本体和两个独立的柜体，所述P5000机台本体的上方安装有TEOS管路，所述柜体的内部安装有小套柜，所述小套柜呈上下两层结构，所述小套柜的下层放置存放有液态源的钢瓶，上层安装有液态源输出管路系统，所述液态源输出管路系统与所述钢瓶连通，还包括一液态源引出管路，所述液态源引出管路安装在所述柜体的上方，所述液态源引出管路的一端与所述液态源输出管路系统连接，另一端与所述TEOS管路对接，所述小套柜的下层安装有加热器，所述钢瓶放置在所述加热器中，所述液态源引出管路上包裹有加热带，所述柜体中安装有控制器，所述控制器与所述P5000机台本体通信连接，所述控制器控制所述加热器和所述加热带的运作；所述柜体四周密封，所述柜体上方安装有排气接口，所述排气接口与所述柜体内部连通；所述两个独立的柜体的钢瓶中分别存放TMB和TMP液态源；所述液态源输出管路系统包括一进气管路、一氮气吹扫管路、一气压检测管路和出气管路，所述进气管路与所述钢瓶连接，所述氮气吹扫管路、气压检测管路和出气管路并联连接在所述进气管路上；所述进气管路、氮气吹扫管路、气压检测管路和出气管路上均安装一手阀，所述气压检测管路上安装有压力表；所述出气管路包括第一管路、第二管路、第三管路，所述第一管路、第二管路、第三管路并联连接并与所述出气管路的手阀串联，所述第一管路的出气口安装有堵头，所述第二管路、第三管路上均安装有两个气阀和一个流量控制器，所述流量控制器位于所述两个气阀之间，所述气阀和所述流量控制器均与所述控制器通信连接；所述柜体的正面设有一操控面板，所述操控面板与所述控制器通信连接，所述操控面板上设有若干数据显示区和若干操控按钮；所述柜体侧壁可拆卸密封安装有侧边封盖；所述加热器设定的加热保温温度为45摄氏度。