[发明专利]一种P5000机台BPSG工艺的改进设备

权利要求书

1.一种P5000机台BPSG工艺的改进设备，其特征在于：包括P5000机台本体和两个独立的柜体，所述P5000机台本体的上方安装有TEOS管路，所述柜体的内部安装有小套柜，所述小套柜呈上下两层结构，所述小套柜的下层放置存放有液态源的钢瓶，上层安装有液态源输出管路系统，所述液态源输出管路系统与所述钢瓶连通，还包括一液态源引出管路，所述液态源引出管路安装在所述柜体的上方，所述液态源引出管路的一端与所述液态源输出管路系统连接，另一端与所述TEOS管路对接，所述小套柜的下层安装有加热器，所述钢瓶放置在所述加热器中，所述液态源引出管路上包裹有加热带，所述柜体中安装有控制器，所述控制器与所述P5000机台本体通信连接，所述控制器控制所述加热器和所述加热带的运作；

所述柜体四周密封，所述柜体上方安装有排气接口，所述排气接口与所述柜体内部连通；

所述两个独立的柜体的钢瓶中分别存放TMB和TMP液态源；

所述液态源输出管路系统包括一进气管路、一氮气吹扫管路、一气压检测管路和出气管路，所述进气管路与所述钢瓶连接，所述氮气吹扫管路、气压检测管路和出气管路并联连接在所述进气管路上；

所述进气管路、氮气吹扫管路、气压检测管路和出气管路上均安装一手阀，所述气压检测管路上安装有压力表；

所述出气管路包括第一管路、第二管路、第三管路，所述第一管路、第二管路、第三管路并联连接并与所述出气管路的手阀串联，所述第一管路的出气口安装有堵头，所述第二管路、第三管路上均安装有两个气阀和一个流量控制器，所述流量控制器位于所述两个气阀之间，所述气阀和所述流量控制器均与所述控制器通信连接；

所述柜体的正面设有一操控面板，所述操控面板与所述控制器通信连接，所述操控面板上设有若干数据显示区和若干操控按钮；

所述柜体侧壁可拆卸密封安装有侧边封盖；

所述加热器设定的加热保温温度为45摄氏度。