[发明专利]化学机械抛光机

摘要

本发明公开了一种化学机械抛光机，化学机械抛光机包括：多个抛光组件，多个所述抛光组件间隔设置且每个所述抛光组件包括：支架、抛光头和抛光盘，所述抛光头设置在所述支架上且适于在抛光位置和传输位置之间移动，所述抛光头处于所述抛光位置时，所述抛光头位于所述抛光盘上方；传输组件，所述传输组件包括：转盘和多个装卸平台，多个所述装卸平台间隔开设置在所述转盘上且随所述转盘转动，所述抛光头处于所述传输位置时，所述抛光头与多个所述装卸平台中的一个相对应。由此，支架的安装稳定性好，抛光组件的工作可靠性高，抛光机的工艺稳定性好。

主权项

1.一种化学机械抛光机，其特征在于，包括：多个抛光组件，多个所述抛光组件间隔设置且每个所述抛光组件包括：支架、抛光头和抛光盘，所述抛光头设置在所述支架上且适于在抛光位置和传输位置之间移动，所述抛光头处于所述抛光位置时，所述抛光头位于所述抛光盘上方；传输组件，所述传输组件包括：转盘和多个装卸平台，多个所述装卸平台间隔开设置在所述转盘上且随所述转盘转动，所述抛光头处于所述传输位置时，所述抛光头与多个所述装卸平台中的一个相对应以使所述抛光头将位于所述装卸平台上的晶圆传输至所述抛光盘上；所述支架上设置有平移驱动装置，所述平移驱动装置适于驱动所述抛光头移动，所述支架上设置有沿所述支架长度方向延伸的滑动槽，所述化学机械抛光机还包括：旋转驱动装置，所述旋转驱动装置设置在所述平移驱动装置上且至少一部分向下穿过所述滑动槽以与所述抛光头相连，所述支架包括：水平板和位于所述水平板两侧的支撑板，所述平移驱动装置和所述滑动槽设置在所述水平板上，所述水平板朝向所述传输组件延伸，所述多个抛光组件关于所述传输组件间隔开设置，每个所述水平板的远离所述支撑板的一端的两侧设置有倾斜边，两个相邻的所述水平板的倾斜边相接触，两侧的所述支撑板之间设置所述抛光盘。