[发明专利]配向膜的制作装置和制作方法

摘要

本发明提供一种配向膜的制作装置和制作方法，所述配向膜的制作装置包括光源，所述光源用于发射单一波长的光线，所述配向膜的制作装置还包括：承载台，所述承载台具有用于承载待配向膜层的承载表面；光处理机构，所述光处理机构用于接收光源的光线，并将接收到的光线分成两束相干光，并使得该两束相干光在承载表面的待配向膜层上形成明暗相间的干涉条纹；显影机构，所述显影机构用于去除待配向膜层上对应于所述干涉条纹中的明条纹的部分。本发明能够减少对待配向膜层的污染，同时降低工艺难度。 1

主权项

1.一种配向膜的制作装置，其特征在于，包括：

光源，所述光源用于发射单一波长的光线；

承载台，所述承载台具有用于承载待配向膜层的承载表面；

光处理机构，所述光处理机构用于接收所述光源的光线，并将接收到的光线分成两束相干光，并使得该两束相干光在所述承载表面的待配向膜层上形成明暗相间的干涉条纹；

显影机构，所述显影机构用于去除待配向膜层上对应于所述干涉条纹中的明条纹的部分；其中，

所述光处理机构包括：分光镜、第一反射镜和第二反射镜，所述分光镜为半透半反镜，所述第一反射镜关于所述半透半反镜对称的镜像与所述第二反射镜之间成预定角度；

所述光源发射的光线能够到达所述分光镜并被分为两部分，其中一部分光线经所述分光镜反射至所述第二反射镜后，能够反射回所述分光镜；另一部分光线经所述分光镜透射至第一反射镜后，能够反射回所述分光镜；

所述承载台位于所述分光镜的下方。

2.根据权利要求1所述的配向膜的制作装置，其特征在于，所述光处理机构还包括设置在所述分光镜和第一反射镜之间的补偿透镜，以使得在所述两部分光线中，被所述分光镜反射的一部分光线在所述分光镜中的光程等于透过所述分光镜的另一部分光线在所述分光镜和所述补偿透镜中的光程和。

3.根据权利要求2所述的配向膜的制作装置，其特征在于，所述补偿透镜与所述分光镜平行。

4.根据权利要求2所述的配向膜的制作装置，其特征在于，所述补偿透镜的材料与所述分光镜的材料相同、所述补偿透镜的厚度与所述分光镜的厚度相同。

5.根据权利要求1所述的配向膜的制作装置，其特征在于，所述预定角度满足以下公式：

θ＝arctan(λ/x)

其中，θ为所述预定角度，λ为所述光源发射的光线的波长，x为在待配向膜层上所需形成的沟槽宽度的2倍。

6.根据权利要求1所述的配向膜的制作装置，其特征在于，所述第二反射镜的一端固定在安装基础上，所述配向膜的制作装置还包括可伸缩的支撑件和控制机构，所述支撑件的一端与所述第二反射镜的另一端固定相连，所述支撑件的另一端与所述安装基础固定相连，所述控制机构用于控制所述支撑件缩短或伸长。

7.根据权利要求6所述的配向膜的制作装置，其特征在于，所述支撑件由压电陶瓷制成，所述控制机构包括第一电极板、第二电极板和控制电路，所述支撑件的一端通过所述第一电极板与所述第二反射镜的另一端固定连接，所述支撑件的另一端通过所述第二电极板与所述安装基础固定连接，且所述控制电路分别与所述第一电极板和所述第二电极板电连接，用于向所述第一电极板和所述第二电极板分别输出不同的电信号。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的配向膜的制作装置，其特征在于，所述光源为紫外光光源。

9.一种配向膜的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

采用权利要求1‑8任意一项所述的配向膜的制作装置，在待配向膜层上形成明暗相间的干涉条纹；以及

利用显影液去除待配向膜层上对应于所述干涉条纹中的明条纹的部分。