[发明专利]光学分析装置及其制造方法有效
申请号: | 201580079131.6 | 申请日: | 2015-04-24 |
公开(公告)号: | CN107532995B | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 长井悠佑 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | G01N21/05 | 分类号: | G01N21/05;G01N21/59;G01N35/08 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 肖华 |
地址: | 日本国京都府京*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在作为半导体元件用基板而使用的蓝宝石的基体(2)上形成供试样溶液流动的流路(3),通过半导体制造工序,在基体(2)上夹持该流路(3)并对置地形成LED(4)和光电二极管(5)。LED(4)向基体(2)侧辐射光,该光在通过流路(3)中的试样溶液时受到与浓度等相应的吸收。该透过光通过基体(2)到达光电二极管(5),光电二极管(5)输出与入射的光量相应的检测信号。根据该装置,光源、光检测器在流通池即基体(2)上被一体化,因此能够谋求小型轻质化,并且不需要装置组装时的繁琐的光轴调整。 | ||
搜索关键词: | 光学 分析 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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