[发明专利]光学分析装置及其制造方法

说明书

在作为半导体元件用基板而使用的蓝宝石的基体(2)上形成供试样溶液流动的流路(3)，通过半导体制造工序，在基体(2)上夹持该流路(3)并对置地形成LED(4)和光电二极管(5)。LED(4)向基体(2)侧辐射光，该光在通过流路(3)中的试样溶液时受到与浓度等相应的吸收。该透过光通过基体(2)到达光电二极管(5)，光电二极管(5)输出与入射的光量相应的检测信号。根据该装置，光源、光检测器在流通池即基体(2)上被一体化，因此能够谋求小型轻质化，并且不需要装置组装时的繁琐的光轴调整。

技术领域

本发明涉及向试样照射光，并对此检测从试样获得的透过光、反射光、散射光、荧光等的光学分析装置。

背景技术

作为液相色谱仪(LC)的检测器，经常使用紫外可见分光光度计、光电二极管阵列检测器等光学分析装置。近年来，随着发光二极管(LED)技术的进展和急速普及，也逐渐地利用LED作为光学分析装置的光源。LED由于发光光谱中的峰宽比较狭窄，因此不适合如跨越宽波段范围地进行波长扫描这样的用途，但是适于将特定波长的光照射到试样的吸光光度计、荧光光度计等光学分析装置。LED与以往一般使用的各种光源相比除了格外廉价以外，还有寿命长、可靠性高这样的优点。

将使用LED作为光源的吸光光度计的概略构成用图7示出(参照例如专利文献1等)。

从光源即LED(例如深紫外LED)71射出的测试光照射在流通池72上。测试光在通过流通池72中的试样溶液时，受到与该试样溶液中的成分的种类、量相应的吸收。受到这样的吸收之后的光入射至光检测器73，光检测器73输出与该光的光量相应的检测信号。然后，在未图示的信号处理部中，根据检测信号算出试样的吸光度。

在使用这样的吸光光度计作为检测器的LC中，为了谋求分析的高速化、高灵敏度化，抑制试样在色谱柱以外的流路中的扩散(波峰的展宽)是重要的，因此，对于流通池也要求是低容量的流通池。针对这样的低容量化的要求，在专利文献2中记载了利用半导体制造工序而形成以氧化硅等为材料的流通池。通过利用半导体制造工序的微细化技术，能够以高尺寸精度地形成低容量的流通池。

这样的低容量流通池的自身即为小型轻质，也便于吸光光度计的小型轻质化。然而，为了在吸光光度计中进行高灵敏度、高精度的测试，需要在装置组装时手动地调整光源以及光检测器的光轴，以使测试光的光轴在流通池中的规定位置通过，流通池越小，这样的调整越难。因此，不但在装置的组装上花费功夫，而且需要在组装上熟练的作业者。另外，即使流通池进行了小型化，也由于光源、光检测器的部件的尺寸的制约，在装置的小型化上具有限制。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2011-237384号公报

专利文献2:美国专利第8213015号说明书

发明内容

发明要解决的问题

本发明正是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供一种与以往相比小型轻质、并且不需要由手动进行光轴等的调整的光学分析装置。

解决问题的技术手段

为了解决上述问题而完成的本发明所涉及的光学分析装置的特征在于，具备：

a)基体，其由作为化合物半导体元件用、氧化物半导体元件用、或者有机半导体元件用的基板而被使用的透明或者半透明的材料形成，在其内部形成有供试样溶液流通的流路；

b)半导体发光部，其通过半导体制造工序形成在所述基体的表面，并针对所述流路中的试样溶液照射光；以及

c)半导体受光部，其通过半导体制造工序形成在所述基体的表面的、来自所述流路中的试样溶液的光所到达的位置上，所述流路中的该试样溶液面对所述半导体发光部的照射光。