[发明专利]用于检测导电和/或可极化粒子的传感器及其调整方法有效
| 申请号： | 201580076847.0 | 申请日： | 2015-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN107532986B | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 卡尔海因茨·韦南德;斯蒂芬·迪耶特曼;蒂姆·阿斯穆斯 | 申请（专利权）人： | 贺利氏耐克森索斯有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06;F02D41/14;F02D41/22 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 德国小奥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器，尤其用于检测烟尘粒子的传感器。所述传感器包括衬底、第一电极层，以及布置在衬底和第一电极层之间的第二电极层，绝缘层形成于第一电极层和第二电极层之间，且至少一个开口分别形成于第一电极层中和绝缘层中，第一电极层中的开口和绝缘层中的开口至少在特定部位彼此层叠布置，以形成通向第二电极层的至少一条通道。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 导电 极化 粒子 传感器 及其 调整 方法 | ||
【主权项】：
一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器(10)，尤其是用于检测烟尘粒子(30)，其包括衬底(11)、第一电极层(12)，以及布置在所述衬底(11)和所述第一电极层(12)之间的第二电极层(13)，形成于所述第一电极层(12)和所述第二电极层(13)之间的绝缘层(14)，且分别形成于所述第一电极层(12)中和所述绝缘层(14)中的至少一个开口(15，16)，所述第一电极层(12)中的所述开口(15)和所述绝缘层(14)中的所述开口(16)至少在特定部分彼此层叠布置以形成通向所述第二电极层(13)的至少一条通道(17)。
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