[发明专利]用于检测导电和/或可极化粒子的传感器及其调整方法

说明书

本发明涉及一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器，尤其用于检测烟尘粒子的传感器。所述传感器包括衬底、第一电极层，以及布置在衬底和第一电极层之间的第二电极层，绝缘层形成于第一电极层和第二电极层之间，且至少一个开口分别形成于第一电极层中和绝缘层中，第一电极层中的开口和绝缘层中的开口至少在特定部位彼此层叠布置，以形成通向第二电极层的至少一条通道。

技术领域

本发明涉及一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器，尤其是一种用于检测烟尘粒子的传感器。本发明还涉及一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器的制造方法。

背景技术

现有技术公开了包括传感器载体的传感器，电极和加热结构以平面排列的方式布置在此传感器载体上。在检测操作模式中，可极化和/或导电粒子沉积于此平面排列上。所沉积的粒子导致电极之间的电阻减小，电阻的下降被用来衡量所沉积的粒子的质量。当达到预定电阻阈值时，通过加热结构对传感器布置加热，使得所沉积的粒子燃烧，且在清洁过程之后，传感器可用于后续的检测周期。

DE 10 2005 029 219 A1公开了一种用于检测内燃机的废气流中的粒子的传感器，电极、加热器和温度传感器结构以平面排列的方式布置在传感器载体上。此传感器布置的一个缺点是，待桥接的电极具有必要的最小长度，以便在测量导电或可极化粒子(例如烟尘)时能够达到可接受敏感度范围。然而，为了能够布置待桥接的电极的最小长度，必须要确定传感器组件的一定尺寸。这样在这些传感器组件的生产期间就带来了相应的成本劣势。

发明内容

本发明的目标为提供一种用于检测导电和/或可极化粒子的优化的传感器，尤其用于检测烟尘粒子，针对传感器的尺寸实现最小化，使得前述缺点可得以克服。

本发明的另一目标是，提供一种用于制造此类型的传感器的方法。

通过如权利要求1所述的用于检测导电和/或可极化粒子的传感器，特别是检测烟雾粒子的传感器，实现上述目标，该传感器尤其用于检测烟尘粒子。关于所述方法，通过如权利要求19所述的特征或如权利要求26所述的特征来实现所述目标。

根据本发明的传感器和根据本发明的用于生产此类型的传感器的方法的有利和有益改进在从属权利要求中详细说明。

基于这一构思，本发明提供一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器，尤其是用于检测烟尘粒子的传感器，所述传感器包括衬底、第一电极层，以及布置在衬底和第一电极层之间的第二电极层，形成于第一电极层和第二电极层之间的绝缘层，且在第一电极层中和绝缘层中分别形成至少一个开口，第一电极层中的开口和绝缘层中的开口至少在特定部位彼此层叠布置，以形成通向第二电极层的至少一条通道。

换句话说，提供一种传感器，其中第一与第二电极层水平地彼此层叠布置，且绝缘层形成于两个电极层之间。为了形成通向第二电极层的通道，使得待检测的粒子(尤其是，烟尘粒子)可在通道的辅助下到达第二电极层，第一电极层和绝缘层两者分别具有至少一个开口，第一电极层中的开口和绝缘层中的开口至少在特定部位彼此层叠布置，使得形成或可形成所述通道。

粒子可因此借助于仅来自传感器的一侧(具体来说，来自传感器的制造成最接近于第一电极层的一侧)的至少一条通道到达第二电极层。导电和/或可极化粒子因此位于第二电极层的一部分上。

优选地，第一电极层中的开口形成于距第一电极层的外围区有一定距离处，绝缘层中的开口形成于距绝缘层的外围区有一定距离处。优选地，所述开口因此不形成于外围位置中，也不形成于相关层的侧外围处。

第一电极层和第二电极层通过位于其间的绝缘层而彼此绝缘。此结构允许形成具有比现有技术的传感器更小的轮廓尺寸的极其敏感的传感器。