[发明专利]EUV投射光刻的照明光学单元有效
| 申请号： | 201580069078.1 | 申请日： | 2015-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN107111242B | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | M.恩德雷斯;R.米勒;S.比林 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种EUV投射光刻的照明光学单元(7)，用于以照明光(3)照明物场(8)。在物体位移方向(y)上可位移的待成像物体(19)可布置于物场(8)中。传输光学单元(14)通过照明通道，以叠加于彼此上的方式将场分面反射镜(5)的场分面成像至物场(8)中，所述照明通道各均已分配有所述场分面之一和光瞳分面反射镜(10)的一个光瞳分面。该叠加光学单元(14)具有布置于该光瞳分面反射镜(10)下游的至少两个用于掠入射的反射镜(12，13)。用于掠入射的反射镜(12，13)在物场(8)中生成由照明通道构成的照明光整体束(3G)的照明角带宽，该带宽对于平行于物体位移方向(y)的入射平面(yz)而言小于对于与其垂直的平面(xz)。所呈现的照明光学单元是这样的：通过其，投射光学单元可适配于照明光的EUV光源的配置。 | ||
| 搜索关键词： | euv 投射 光刻 照明 光学 单元 | ||
【主权项】：
一种EUV投射光刻的照明光学单元(6；50；51；52；53)，用于以照明光(3)照明物场(4)，其中待成像物体(10)可布置于该物场(4)中，该物体在投射曝光期间通过物体夹持器(10a)在物体位移方向(y)上是可位移的，‑包含场分面反射镜(FF)，其包含多个场分面，所述多个场分面分别由至少一个单独反射镜构建，‑包含光瞳分面反射镜(PF)，其包含多个光瞳分面，为传输光学单元(46)的一部分，所述传输光学单元通过照明通道，以叠加于彼此上的方式将所述场分面成像在该物场(4)中，所述照明通道各均已分配有所述场分面之一和所述光瞳分面之一，‑其中该传输光学单元(46)具有至少两个用于掠入射的反射镜(22，23)，其在该照明光(3)的射束路径中布置于该光瞳分面反射镜(10)的下游，以及‑在该物场(4)中产生由所述照明通道构成的照明光整体束(3G)的照明角带宽，该带宽对于照明光(3)在物场(4)上的平行于该物体位移方向(y)的入射平面(yz)而言小于对于与物体位移方向垂直的平面(xz)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司，未经卡尔蔡司SMT有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580069078.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
