[发明专利]电容式湿度传感器有效
| 申请号： | 201580066677.8 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN107003262B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 西田达也;岛田爱子 | 申请（专利权）人： | 北陆电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 曾祥录 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供即使不形成非透湿保护膜也能够防止多余的湿气的浸入以及排出的电容式湿度传感器。在包围电极(51)与下部电极(31)的周边部的大部分之间形成第1狭缝(4)。感湿膜图案(7)掩埋在包围电极51与下部电极31的周边部的大部分之间形成的第1狭缝(4)，且具备沿着包围电极(51)使该包围电极(51)连续地露出的第2狭缝(8)。上部电极图案(9)被形成为覆盖感湿膜(71)的周边部的大部分。上部电极图案(9)被形成为掩埋感湿膜图案(7)的第2狭缝(8)。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 狭缝 感湿膜 周边部 图案 包围 电容式湿度传感器 上部电极 下部电极 掩埋 湿气 浸入 保护膜 排出 透湿 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种电容式湿度传感器，具备：绝缘基板；下部电极图案，包括下部电极以及第1连接电极，所述下部电极被形成为包括由与所述绝缘基板的紧密接触性良好的材料形成的基底电极层，所述第1连接电极与所述下部电极电连接；感湿膜图案，包括整体性地覆盖所述下部电极的感湿膜；以及上部电极图案，由与所述绝缘基板的紧密接触性差的材料形成，包括以使所述感湿膜部分性地露出的方式将其覆盖的上部电极，所述电容式湿度传感器的特征在于包括：包围电极图案，该包围电极图案具有与所述下部电极图案相同的构造，包括包围电极和第2连接电极，所述包围电极在与所述下部电极的周边部的大部分之间隔开间隔地形成在所述绝缘基板上，包围所述下部电极的所述周边部的大部分，所述第2连接电极与该包围电极电连接，所述感湿膜图案被形成为掩埋在所述包围电极与所述下部电极的周边部的大部分之间形成的第1狭缝，且形成沿着所述包围电极使该包围电极连续地露出的第2狭缝，所述上部电极图案被形成为掩埋所述第2狭缝。
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