[发明专利]电容式湿度传感器

说明书

提供即使不形成非透湿保护膜也能够防止多余的湿气的浸入以及排出的电容式湿度传感器。在包围电极(51)与下部电极(31)的周边部的大部分之间形成第1狭缝(4)。感湿膜图案(7)掩埋在包围电极51与下部电极31的周边部的大部分之间形成的第1狭缝(4)，且具备沿着包围电极(51)使该包围电极(51)连续地露出的第2狭缝(8)。上部电极图案(9)被形成为覆盖感湿膜(71)的周边部的大部分。上部电极图案(9)被形成为掩埋感湿膜图案(7)的第2狭缝(8)。

技术领域

本发明涉及湿滞少的电容式湿度传感器。

背景技术

在日本特公平4－64425号公报(专利文献1)、WO2010/113711(专利文献2)等所示的以往的电容式湿度传感器中，在基板之上形成有下部电极，在其之上形成有感湿膜，进而在感湿膜之上形成有上部电极。而且，在专利文献2所示的以往的湿度传感器中，进而在上部电极之上形成有非透湿保护膜。在任意的电容式湿度传感器中，都为了与设置于基板上的连接电极的电连接，使上部电极在基板上延伸。

专利文献1：日本特公平4－64425号公报

专利文献2：WO2010/113711

发明内容

但是，在以往的电容式湿度传感器中，为了防止对湿滞造成影响的多余的湿气的浸入以及排出，需要形成非透湿性保护膜。另外在使上部电极在基板的表面上延伸的情况、上部电极与基板的表面的紧密接触性差的情况下，产生上部电极的延长部分从基板的表面剥离的问题。

本发明的目的在于提供即使不形成非透湿保护膜也能够防止多余的湿气的浸入以及排出的电容式湿度传感器。

除了上述目的之外，本发明的另一目的在于提供能够防止上部电极从基板表面剥离的电容式湿度传感器。

本发明的电容式湿度传感器具备：绝缘基板；下部电极图案，包括下部电极以及第1连接电极，上述下部电极被形成为包括由与绝缘基板的紧密接触性良好的材料形成的基底电极层，上述第1连接电极与该下部电极电连接；感湿膜图案，包括整体性地覆盖下部电极的感湿膜；以及上部电极图案，包括以使感湿膜部分性地露出的方式将其覆盖的上部电极。特别在本发明的电容式湿度传感器中，上部电极图案被形成为覆盖感湿膜图案的周边部的大部分。

这样，成为感湿膜图案的周边部的大部分被上部电极图案覆盖的状态，所以从感湿膜的外周部的多余的吸湿以及排湿消失，即使不形成非透湿保护膜，感湿膜的滞后特性也被改善。

下部电极图案包括与下部电极电连接的第1连接电极。而且，优选还具备包围电极图案，该包围电极图案具有基底电极层，按照与下部电极图案相同的构造形成，上述包围电极图案包括包围电极以及第2连接电极，上述包围电极在与下部电极的周边部的大部分之间隔开间隔地形成在绝缘基板上，包围下部电极的周边部的大部分，上述第2连接电极与该包围电极电连接。在该情况下，感湿膜图案优选被形成为掩埋在包围电极与下部电极的周边部的大部分之间形成的第1狭缝，且形成沿着包围电极使该包围电极连续地露出的第2狭缝。而且上部电极图案优选被形成为掩埋第2狭缝。这样，在第2狭缝之下存在包围电极，上部电极与包围电极紧密接触，不会与绝缘基板接触。因此，能够防止上部电极被剥离。另外，在上部电极图案掩埋了第2狭缝的状态下，成为感湿膜图案的周边部的大部分被上部电极图案覆盖的状态。其结果，从感湿膜的外周部的吸湿以及排湿消失，感湿膜的滞后特性被改善。