[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法及有机电致发光元件的制造方法

摘要

本发明提供能对应基板的大型化的具备新颖对准机构的蒸镀装置、蒸镀方法、及有机电致发光元件的制造方法。本发明是一边在第一方向运送基板一边进行蒸镀的蒸镀装置，蒸镀装置具备：掩膜；含有基板保持部、及从基板保持部向掩膜侧突出沿着第一方向被设置的导引部的基板拖盘；被设置在掩膜一方的第一端部、或导引部的距离测定装置；被连接于掩膜另一方的第二端部的驱动装置；距离测定装置，在导引部与第一端部对向时，测定距离测定装置与导引部、或第一端部之间的距离；驱动装置，可基于距离测定装置的测定值，在与第一方向正交的第二方向驱动掩膜。

主权项

1.一种蒸镀装置，一边在第一方向运送基板一边进行蒸镀，其特征在于，包含：掩膜，其包含第一端部、设在所述第一端部的相反侧的第二端部、及设置有图案形成用的多个开口的主面部；基板托盘，其包含保持基板的基板保持部、及从所述基板保持部向与和所述基板平行的平面交叉的方向突出且沿着所述第一方向被设置的导引部；运送导件，其将所述基板托盘往所述第一方向导引，以使所述基板保持部及所述导引部分别与所述主面部及所述第一端部对向；距离测定装置，其被设置在所述第一端部或所述导引部；以及驱动装置，其连接于所述第二端部；所述距离测定装置，在所述导引部与所述第一端部对向时，测定所述距离测定装置与所述导引部或所述第一端部之间的距离；所述驱动装置，基于所述距离测定装置的测定值，在与所述第一方向正交的第二方向驱动所述掩膜。