[发明专利]用于以数字匹配滤波器进行增强型缺陷检测的系统及方法有效
| 申请号： | 201580059583.8 | 申请日： | 2015-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN107077733B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | P·科尔钦;E·希夫林 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T5/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 对样本的增强型缺陷检测包含针对第一光学模式从样本的两个或多于两个位置获取来自所述样本的两个或多于两个检验图像。所述缺陷检测还基于针对所述第一光学模式来自所述两个或多于两个位置的所述两个或多于两个检验图像而针对选定缺陷类型产生经聚合缺陷分布，以及计算针对所述第一光学模式从所述两个或多于两个位置获取的所述两个或多于两个检验图像的一或多个噪声相关性特性。缺陷检测进一步包含基于所述所产生的经聚合缺陷分布及所述所计算的一或多个噪声相关性特性而产生用于所述第一光学模式的匹配滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 数字 匹配滤波器 进行 增强 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于利用匹配滤波器的增强型缺陷检测的方法，所述方法包括：针对第一光学模式从样本的两个或多于两个位置获取来自所述样本的两个或多于两个检验图像；基于针对所述第一光学模式来自所述两个或多于两个位置的所述两个或多于两个检验图像，针对选定缺陷类型而产生经聚合缺陷分布；计算针对所述第一光学模式从所述两个或多于两个位置获取的所述两个或多于两个检验图像的一或多个噪声相关性特性；及基于所述所产生的经聚合缺陷分布及所述所计算的一或多个噪声相关性特性而产生用于所述第一光学模式的匹配滤波器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580059583.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大型封头内壁堆焊电磁感应加热方法
- 下一篇：一种配置有隔磁结构的电磁炉
