[发明专利]用于组合来自多个计量工具的原始数据的系统、方法及计算机程序产品

摘要

本发明提供一种用于组合来自多个计量工具的原始数据的系统、方法及计算机程序产品。获得关于培训组件的至少一个参数的参考值。利用第一计量工具及不同的第二计量工具收集关于所述培训组件的所述至少一个参数的信号。此外，将所述信号的至少一部分变换为一组信号，且针对所述培训组件的所述至少一个参数中的每一者，确定所述组信号与所述参考值之间的对应关系并据此创建对应培训模型。利用至少所述第一计量工具及所述第二计量工具从目标组件收集信号，且将每一所创建培训模型应用于从所述目标组件收集的所述信号以测量所述目标组件的参数值。

主权项

一种方法，其包括：识别培训组件；获得关于所述培训组件的至少一个参数的参考值；利用第一计量工具收集关于所述培训组件的所述至少一个参数的第一组信号；利用不同于所述第一计量工具的第二计量工具收集关于所述培训组件的所述至少一个参数的第二组信号；将所述第一组信号及所述第二组信号中的每一者的至少一部分变换为第三组信号；针对所述培训组件的所述至少一个参数中的每一者，确定所述第三组信号与所述参考值之间的对应关系；针对所述培训组件的所述至少一个参数中的每一者，基于所述对应所确定关系而创建培训模型；利用至少所述第一计量工具及所述第二计量工具从目标组件收集信号；将每一所创建培训模型应用于从所述目标组件收集的所述信号以测量所述目标组件的参数值。