[发明专利]使用结构性信息的缺陷检测

摘要

本发明提供用于基于结构性信息来检测样本上的缺陷的系统及方法。一种系统包含一或多个计算机子系统，所述子系统经配置用于基于样本上的阵列区中的结构的特性来将由所述阵列区中的检验子系统的检测器产生的输出分离成所述输出的至少第一片段与第二片段，使得不同片段中的所述输出已被产生于所述阵列区中的不同位置，其中形成具有所述特性的不同值的所述结构。所述计算机子系统还经配置用于通过基于所述输出是处于所述第一片段中还是处于所述第二片段中而将一或多个缺陷检测方法应用于所述输出以检测所述样本上的缺陷。

主权项

1.一种经配置以基于结构性信息来检测样本上的缺陷的系统，所述系统包括：检验子系统，其包括至少一能源及一检测器，其中所述能源经配置以产生被引导到样本的能量，且其中所述检测器经配置以检测来自所述样本的能量，并响应于经检测的能量而产生输出；及一或多个计算机子系统，其经配置用于：基于所述样本上的阵列区域中的一或多个结构的一或多个特性而将由所述阵列区域中的所述检测器产生的所述输出分离成所述输出的至少第一片段与第二片段，使得不同片段中的所述输出已被产生于所述阵列区域中的不同位置，其中形成具有所述一或多个特性的不同值的所述一或多个结构，且其中所述分离包括：确定用于所述输出中的不同区域及针对所述晶片的设计的对称分数，将用于所述输出的对称分数对准于用于所述设计的所述对称分数，及基于所述对准的结果及关于所述一或多个结构中的哪些对应于用于所述设计的所述对称分数的信息来分离所述输出；以及通过基于所述输出是处于所述第一片段中还是处于所述第二片段中而将一或多个缺陷检测方法应用于所述输出以检测所述样本上的缺陷。