[发明专利]加热冷却设备

摘要

提供一种加热冷却设备，该加热冷却设备能够在具有气密性的处理室内进行加热和冷却的处理，能够提高加热冷却效率并且实现装置的小型化。加热冷却设备(100)具备气密性的处理室(4)、对被处理构件(1)进行加热的包括感应加热线圈(2a)的感应加热装置(2)、对被处理构件(1)进行冷却的冷却装置(3)、用于测定被处理构件(1)的温度的温度传感器(5)以及对感应加热装置(2)和冷却装置(3)进行控制的控制装置(6)。在加热冷却设备(100)中还设置有移动装置(15)，该移动装置(15)使被处理构件(1)和冷却装置(3)的冷却部(3a)中的至少一方移动，来变更被处理构件(1)与冷却部(3a)之间的距离。

主权项

1.一种加热冷却设备，其特征在于，具备：气密性的处理室，其具有能够取出和放入被处理构件的开闭机构；感应加热装置，其对所述被处理构件进行加热，包括一个或多个感应加热线圈；冷却装置，其对所述被处理构件进行冷却；温度传感器，其用于测量所述被处理构件的温度；以及控制装置，其基于由所述温度传感器测量出的温度来对所述感应加热装置和所述冷却装置进行控制，其中，在所述加热冷却设备中设置有移动装置，该移动装置使所述被处理构件和/或所述冷却装置的冷却部移动，来变更所述被处理构件与所述冷却装置的冷却部之间的距离，所述加热冷却设备还具备冷却板，其位于所述被处理构件与所述感应加热线圈之间。