[发明专利]负性抗蚀剂组合物和其中的多官能聚合物有效
| 申请号： | 201580047940.9 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN106662810B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | R.苏里亚库马兰;L.K.松德贝里;M.I.桑切斯;L.D.博扎诺;D.P.桑德斯;渡边聪;增永惠一;土门大将;河合义夫 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司;信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉;肖靖泉 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供包含游离的光致产酸剂和与光致产酸部分共价结合的多官能聚合物的负性抗蚀剂组合物，其中所述组合物基本不含交联剂。还提供可与抗蚀剂组合物联合使用的多官能聚合物，以及使用本发明组合物和聚合物在基底上产生抗蚀剂图像的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 负性抗蚀剂 组合 中的 官能 聚合物 | ||
【主权项】：
含水碱能显影的负性抗蚀剂组合物，其基本不含交联剂且包括：由第一重复单元、第二重复单元和第三重复单元组成的多官能聚合物，所述第一重复单元赋予在含水碱显影剂中的溶解性，所述第二重复单元包含极性转换部分，所述第三重复单元包含共价连接的光致产酸基团。
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