[发明专利]装载口及装载口的气氛置换方法

摘要

本发明提供一种装载口，能够在将基板收纳空间内部维持为净化气体气氛的状态下，利用搬运机器人进行基板的搬入搬出。在将基板收纳容器的盖开放之后，在比开放位置进一步前进的第3位置，通过将基板收纳容器的开口部的周缘部密闭的框体以及多个遮蔽板沿铅垂方向配置而成的开闭器部将基板收纳容器的开口部封闭。开闭器部使多个遮蔽板的全部或者一部分局部地移动，能够形成狭窄的开口部(第3开口部)，将基板收纳空间内部进行了气氛置换的状态下的基板的搬运经由该狭窄的开口部(第3开口部)进行。

主权项

1.一种具有气氛置换功能的装载口，其载置基板收纳容器，用于使基板相对于所述基板收纳容器进出，所述基板收纳容器为了将多个基板载置收纳到内部而形成有在铅垂方向以一定的间隔配置的多个搁板，并且所述基板收纳容器具有用于使所述基板进出的第1开口部、以及能够将该第1开口部开闭的盖部，其特征在于，/n具备：/n载台，在该载台的第1位置载置并固定所述基板收纳容器；/n载台驱动部，其使所述载台在所述第1位置、第2位置及第3位置之间进退移动；/n门，其在从所述第1位置前进的位置、即所述第2位置与所述基板收纳容器的所述盖部卡合，相对于所述基板收纳容器装卸所述盖部；/n门升降部，其使所述门升降移动；/n框体，其在从所述第2位置进一步前进的位置、即所述第3位置与所述基板收纳容器的周缘部抵接；/n开闭器部，其配置为能够局部开闭，在所述框体的与所述基板收纳容器相反的一侧，将被所述框体包围的第2开口部整体关闭；/n开闭器驱动部，其选择性地驱动所述开闭器部的一部分进行开闭，以便在所述开闭器部的所期望的位置设置比所述第2开口部小的第3开口部；以及/n至少一个净化喷嘴，其向所述基板收纳容器的内部供给净化气体。/n