[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、带有抗蚀剂图案的基板的制造方法以及印刷配线板的制造方法在审

专利信息
申请号: 201580046935.6 申请日: 2015-09-14
公开(公告)号: CN106796397A 公开(公告)日: 2017-05-31
发明(设计)人: 冈出翔太;村松有纪子;太田绘美子;泽边贤;李相哲 申请(专利权)人: 日立化成株式会社
主分类号: G03F7/031 分类号: G03F7/031;G03F7/004;G03F7/029;G03F7/033;H05K3/06;H05K3/18
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司11243 代理人: 钟晶,陈彦
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 感光性树脂组合物含有粘合剂聚合物、具有乙烯性不饱和键基团的光聚合性化合物、光聚合引发剂、以及式(1)所表示的苯乙烯基吡啶化合物,所述粘合剂聚合物具有来源于具有碳原子数1~12的羟烷基的(甲基)丙烯酸羟烷基酯的结构单元和来源于(甲基)丙烯酸的结构单元。式中,R1、R2和R3各自独立地表示碳原子数1~20的烷基、碳原子数1~6的烷氧基、碳原子数1~6的烷基酯基、氨基、碳原子数1~20的烷基氨基、羧基、氰基、硝基、乙酰基或(甲基)丙烯酰基,a、b和c各自独立地表示0~5的整数。a、b和c分别大于或等于2时,多个R1、R2和R3可以相同也可以不同。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 元件 带有 抗蚀剂 图案 制造 方法 以及 印刷 线板
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,含有:(A)粘合剂聚合物,其具备来源于具有碳原子数1~12的羟烷基的(甲基)丙烯酸羟烷基酯的结构单元和来源于(甲基)丙烯酸的结构单元,(B)具有乙烯性不饱和键基团的光聚合性化合物,(C)光聚合引发剂,以及(D)下述通式(1)所表示的苯乙烯基吡啶化合物,[化1]式(1)中,R1、R2和R3各自独立地表示碳原子数1~20的烷基、碳原子数1~6的烷氧基、碳原子数1~6的烷基酯基、氨基、碳原子数1~20的烷基氨基、羧基、氰基、硝基、乙酰基或(甲基)丙烯酰基,a、b和c各自独立地表示0~5的整数,其中,a大于或等于2时,存在有多个的R1各自可以相同也可以不同,b大于或等于2时,存在有多个的R2各自可以相同也可以不同,c大于或等于2时,存在有多个的R3各自可以相同也可以不同。
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