[发明专利]投射光刻的照明光学单元的分面反射镜有效
| 申请号： | 201580045812.0 | 申请日： | 2015-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN106605175B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | M.德冈瑟;M.帕特拉 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军;王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种投射光刻的照明光学单元的分面反射镜(11)，包含多个使用分面(12)，其每个反射照明光部分光束。分面反射镜(11)具有至少一个变化子单元(16 |
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| 搜索关键词： | 投射 光刻 照明 光学 单元 反射 | ||
【主权项】：
一种投射光刻的照明光学单元的分面反射镜(11；14；34)，‑包含多个使用分面(12)，其每个反射照明光部分光束(9i)；以及‑包含至少一个变化子单元(16；20；28)，其具有共同布置于分面承载件(22)上的多个变化分面(12，12′；12i，12i′；13)，所述变化分面能够替代地位于所述使用分面(12；12，13)中精确的一个使用分面的使用位置处。
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