[发明专利]投射光刻的照明光学单元的分面反射镜

说明书

一种投射光刻的照明光学单元的分面反射镜(11)，包含多个使用分面(12)，其每个反射照明光部分光束。分面反射镜(11)具有至少一个变化子单元(16₁、16₂、16₃)，其具有在分面承载件上共同布置的多个变化分面(12；12₁、12_1′)，所述变化分面能够替代地位于精确的一个使用分面(12)的使用位置处。这导致分面反射镜能够用以在操作上可靠且稳定地设定不同的照明几何形状或照明设定。

相关申请的交叉引用

本专利申请要去德国专利申请DE 10 2014 216 801.5的优先权，其内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明关于一种投射光刻的照明光学单元的分面反射镜(facet mirror)。此外，本发明关于包含这种分面反射镜的照明光学单元、包含这种照明光学单元的光学系统以及照明系统、包含这种光学系统的投射曝光装置、一种制造微结构或纳米结构组件的方法以及由此方法制造的微结构或纳米结构组件。

背景技术

从EP 1 927 892 A1、US 7,858,957 B2、US 2012/0 293 785 A1、US 6,658,084B2、DE 10 2006 014 380 A1、DE 103 17 667 A1、DE 10 2013 212 363 A1及DE 10 2012207 048 A1已知投射光刻的照明光学单元的分面反射镜。

发明内容

本发明的目的为发展引言中所述类型的分面反射镜，使得不同的照明几何形状或照明设定在操作上能够可靠且稳定地设定。

此目的根据本发明通过一种投射光刻的照明光学单元的分面反射镜实现。所述分面反射镜包含多个使用分面，其每个反射照明光部分光束；以及包含至少一个变化子单元，其具有共同布置于分面承载件上的多个变化分面，所述变化分面能够替代地位于所述使用分面中精确的一个使用分面的使用位置处。

根据本发明，已认识到于变化子单元(change subunit)的共同分面承载件(common facet carrier)上容纳多个变化子单元的结果为有可能实现各使用分面的稳定且操作上可靠的定位。不同变化子单元间的交换(如EP 1 927 892 A1中所讨论)将被排除。使用分面在其成像特性和/或其方向影响特性和/或其他参数上可不相同。特别地，结果为可热承载的分面反射镜(thermally loadable facet mirror)。变化子单元的数量可刚好等于使用分面布置的线数量。或者，若只有使用分面布置的一部分预期会配备有可变化的使用分面，则也可提供较小数量的变化子单元。变化子单元可具有单独分配的位移致动器。变化子单元的位移确保针对该变化子单元的变化分面，只有一个使用分面改变，其接着变成替代的使用分面。所有其他使用分面的定位维持不变，不受该变化子单元的位移的影响。

可通过变化子单元改变的使用分面与不属于此变化子单元的邻近使用分面之间的距离至多可为2毫米。在可通过变化子单元改变的使用分面与不属于此变化子单元的使用分面间的该距离的方向上，邻近使用分面可具有至少为此距离5倍的范围，使得该距离的最大值因此为此使用分面的范围的20％。这使得实现分面反射镜的所有使用分面实际上不间断的封装(uninterrupted packing)。

根据本发明，变化子单元在线方向上包含至少一个分面线，其中变化分面沿所述分面线布置，其中分面反射镜的使用分面关于所述分面线的线方向横向布置。这样，可沿变化子单元的分面线(facet line)提供实际上无限数量的变化分面。在各个情况下使用不同的使用分面的可预定义的照明设定的数量可相当大。沿着分面线，变化子单元可以可线性位移的方式实施。